Piezorezistiv bosim sensori
Qarshilik kuchlanish o'lchagichi piezorezistiv deformatsiya sensorining asosiy qismlaridan biridir. Metall qarshilik deformatsiyasini o'lchagichning ishlash printsipi substratda adsorbsiyalangan deformatsiya o'lchagichning qarshiligi mexanik deformatsiyalar bilan o'zgarishi fenomeniga asoslanadi, odatda qarshilik deformatsiyasi effekti deb nomlanadi.
Seramika bosim sensori
Seramika bosim sensori piezorezistiv ta'sirga asoslangan. Bosim to'g'ridan-to'g'ri keramik diafragmaning old yuzasiga ta'sir qiladi va engil deformatsiyaga olib keladi. Keramika diafragmaning orqa tomonida Wheatstone ko'prigini tashkil etuvchi qalin-plyonkali rezistor bosilgan. Piezorezistiv rezistorning piezorezistiv ta'siri tufayli ko'prik bosimga mutanosib, shuningdek, qo'zg'alish kuchlanishiga mutanosib bo'lgan yuqori chiziqli kuchlanish signalini hosil qiladi. Standart signallar bosim diapazoniga qarab 2,0/3,0/3,3 mV/V va boshqalarga kalibrlanadi va kuchlanish o'lchagich sensorlari bilan mos keladi.
Tarqalgan silikon bosim sensori
Tarqalgan silikon bosim sensori ishlash printsipi ham piezorezistiv ta'sirga asoslanadi. Ushbu printsipdan foydalangan holda, o'lchangan muhitning bosimi to'g'ridan-to'g'ri datchikning diafragmasiga (zanglamaydigan po'lat yoki keramika) ta'sir qiladi va bu diafragmaning o'rta bosimiga mutanosib mikro{1}}siljishiga olib keladi. Bu sensorning qarshiligining o'zgarishiga olib keladi. Elektron sxema bu o'zgarishni aniqlaydi va bu bosimga mos keladigan standart o'lchov signalini chiqaradi.
Safir bosim sensori
Deformatsiya o'lchagich printsipidan foydalangan holda, bu sensor yarimo'tkazgichni sezuvchi element sifatida mislsiz metrologik xususiyatlarga ega bo'lgan kremniy-safirdan foydalanadi. Shuning uchun, kremniy-safirdan tayyorlangan yarimo'tkazgichli sezgir elementlar harorat o'zgarishiga sezgir emas va hatto yuqori haroratlarda ham mukammal ishlash xususiyatlarini namoyish etadi; safir kuchli radiatsiya qarshiligiga ega; bundan tashqari, kremniy-safirli yarimo'tkazgich sezuvchi elementlar p-n driftga ega emas.
Piezoelektrik bosim sensori
Piezoelektrik effekt piezoelektrik sensorlarning asosiy ish printsipi hisoblanadi. Piezoelektrik datchiklarni statik o'lchovlar uchun ishlatib bo'lmaydi, chunki tashqi kuch qo'llanilgandan keyin zaryad faqat kontaktlarning zanglashiga olib kirish empedansi cheksiz bo'lganda saqlanib qoladi. Haqiqatda bunday bo'lmagani uchun, piezoelektrik sensorlar faqat dinamik stressni o'lchashi mumkin.